Characterization of two novel low frequency microphones for photoacoustic gas sensors
Abstract
The photoacoustic principle for measuring gas concentration is well established based upon macromechanical assembly.
However, microsystem based photoacoustic could benefit from smaller size and lower cost, but needs a high resolution
microphone to be competitive. Here we present the characterization of two dedicated low frequency microphones. Both
microphones have been fabricated in the same MPW foundry process, but additional post processing step enabling
narrow ventilation slots through membranes of multiple thickness that increase the sensitivity of microphones, has been
used. Preliminary results indicate a sensitivity of 800 μV/V-Pa, sufficient for high resolution photoacoustic gas sensors.
بیان مشخصات دو میکروفون فرکانس-پایین جدید برای سنسورهای گازی فوتوصوتی
چکیده
مفهوم فوتوصوتیبرای اندازهگیریغلظت گازبخوبی براساسمونتاژ ماکرومکانیکی اثبات شده است. با اینحال،فوتوصوت مبتنی بر میکروسیستممیتواندازابعاد کوچکتر و هزینهکمتراستفاده کند، اما برای رقابت نیاز به میکروفون با وضوح بالادارد. در اینجا، توصیف مشخصاتدومیکروفونبا فرکانسکم اختصاصی ارائه میشود. هر دومیکروفونبافرایندریختهگری (ساخت)MPW یکسان ساختهشدهاند، اما ازگامپسپردازشاضافی کهتهویه شیارهایباریک را از طریقغشاهایضخامتچندگانه کهحساسیتمیکروفونرا افزایش میدهداستفاده شده است. نتایج اولیهحساسیت را نشان میدهدکه برایسنسورهایگاز فوتوصوتی با وضوح بالا کافی است.